5月21日，由协会会员单位四川九天真空科技股份有限公司承担研发任务的“02专项”产品——“变通导摆动隔离阀”样机成功通过专家组现场测试，测试结果符合项目任务书的技术要求，下一步将进入上机考核阶段。
专家组在九天真空洁净实验室进行样机的现场测试
02专项，即：《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目，因次序排在国家重大专项所列16个重大专项第二位，在行业内被称为“02专项”。
半导体设备行业属于典型的技术密集型行业，产品技术含量极高，同时对配套产业要求极高，其中就包括真空设备配套产业。真空设备（真空阀、真空泵、真空腔体及管道等）是半导体各工艺制程环节必备的通用设备，广泛应用于晶圆制造过程中的LL、Etching、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程中。
刻蚀是半导体制造流程中最关键的工艺环节之一，刻蚀是用化学或者物理方法将晶圆表面不需要的材料逐渐去除的过程，决定了晶圆上的芯片电路能否与光掩模版上的芯片电路保持一致，是图形化工艺中的重点。因此，刻蚀设备也被称为半导体的“雕刻刀”。
九天真空承担的02专项“变通导摆动隔离阀”是刻蚀设备中防腐真空系统中的核心零部件，其特征是通过高精度的真空规与步进电机驱动的阀板相结合，能快速而精确的控制阀门开口，调节阀门的流导，快速响应并达到刻蚀的工艺气氛要求，保证刻蚀工艺的稳定性、重复性。
此次样机成功通过现场测试，意味着国内真空设备配套产业在该领域的最新研发成果突破。